一、 優(yōu)勢簡介：

??MicroSense的高精度電容式位移傳在感器，除具有一般非接觸式儀器的共性外，還具有信噪比高、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、抗電磁干擾能力強、使用方便等優(yōu)點，在國內研究所、高等院校、企業(yè)得到廣泛應用，成為科研、教學和生產(chǎn)中一種非常重要的測試儀器。

??二、 特點：

??1、可實現(xiàn)近距離、高精度、非接觸式位置測量

??2、分辨率可達亞納米級直至皮納米級，在所有商用電容傳感器品牌中，噪音ZUI低

??3、提供多種型號的探頭，以滿足高穩(wěn)定性、線性或高測量帶寬等不同需求

??4、可選擇單一通道或多通道（3U歐洲卡機架安裝標準）

??三、 型號簡介：

??1、被動式電容位移傳感器，代表型號：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

??被動式電容傳感器基于追求最佳的線性和穩(wěn)定性而設計，測量帶寬達20千赫，專用于伺服系統(tǒng)運動行程反饋，尤其是高精密機床的系統(tǒng)伺服運動行程反饋。

??2、主動式電容位移傳感器，代表型號：58XX系列，68XX系列

??主動式電容傳感器突破了納米分辨率壁壘，實現(xiàn)了亞納米分辨率與快速響應，測量帶寬高達100千赫。

??6810型號擅長高動態(tài)測量，即測量對象為高速旋轉或振蕩的物體，如精密硬盤驅動主軸電機、精密空氣軸承主軸、機械軸承機床主軸等。

?  主要應用的場合是，分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量，如軸向和徑向不重復的跳動，或者異步誤差運動(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

??四、 性能：

??1、測量距離在± 5 um到± 1 mm內

??2、高測量帶寬（高頻率響應）可選范圍：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz，100 kHz

??3、適用于任何接地、導電的目標，材料或表面光潔度對精度無影響

??4、分辨率可實現(xiàn)亞納米級，由傳感器探頭尺寸、帶寬、測量距離共同決定

??5、線性度優(yōu)于滿量程測量的0.025%，由傳感器探頭尺寸、帶寬、測量距離共同決定