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白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。白光干涉儀工作原理：白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成...

接近式光刻機在單室設計上可以滿足研發(fā)工作，與EVG的自動化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持大300mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進的OmniSpray涂層技術，在3D結構晶圓上實現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層，用于互連技術。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗，同時改善了均勻性并防止了擴散。它的分類：接近式光刻機一般根據(jù)操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動1、手動：指的是對準的調節(jié)方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精...

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納米壓痕儀是近期比較受關注的一個儀器，可能很多人都不知道它到底是干嘛的，有什么特性，今天岱美儀器小編就帶大家來詳細了解下它的結構功能特性以及在各個領域的應用情況。我們先了解它的性能，納米壓痕儀能通過實時記錄力和對應位移深度的曲線來測量納米或微米級薄膜材料力學性能。該儀器不僅提供納米壓痕功能，同時也提供納米劃痕功能和臺階儀功能，不僅可以滿足薄膜硬度、彈性模量等性能的測量，還可實現(xiàn)薄膜與基體之間的結合力和定量表面形貌的測量。其電磁驅動器具有很好的力和位移動態(tài)范圍，可測量6個數(shù)量級...

膜厚儀又叫膜厚測試儀，可應用于在線膜厚測量，測氧化物，SiNx，感光保護膜和半導體膜。也可以用來測量鍍在鋼，鋁，銅，陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉，干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關，因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損，精確且快速的光學薄膜厚度測量技術，薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。膜厚儀符合了(GB/T4957-2003)中的渦流法以及(GB/T4956-2003)中的磁性法等相關標準。一般根據(jù)原理不同可分為3...